SIMS dynamique   

Limite de détection

Gamme de masses usuelle

Profondeur d'un profil

Résolution en profondeur

Surface analysée (diamètre)

1ppm-1ppb

1uma-300uma

10nm-100µm

1nm-20nm

20µm-500µm

XPS/ESCA

Limite de détection

Eléments détectés

Profondeur sondée (sans abrasion)

Surface analysée minimale (diamètre)

0,1at%

Tous sauf H et He

10nm

10µm

TOF-SIMS

Limite de détection

Gamme de masses

Profondeur sondée (sans abrasion)

Résolution spatiale en imagerie

1ppm

1uma-10000uma

1nm

0,1µm

RBS

Limite de détection

Gamme de masses

Epaisseur sondée

1at%

M>10uma

3nm-3µm

ECVP

Limite de détection

Profondeur d'un profil

Surface analysée (diamètre)

1ppm-1ppb

10nm-10µm

1mm-3mm

FIB-TEM