|
Comparatif
|
Limite de détection
|
Composition d'un alliage
|
Information moléculaire
|
Information de profondeur
|
|
SIMS dynamique
|
+++
|
+
|
0
|
+++
|
|
XPS/ESCA
|
+
|
+++
|
+
|
+
|
|
TOF-SIMS
|
+++
|
0
|
+++
|
+
|
|
RBS
|
0
|
+
|
0
|
+
|
|
ECVP
|
+++
|
0
|
0
|
+++
|
|
TRPL
|
Mesure des propriétés d'émission optique de composants semiconducteurs.
|
|
FIB-TEM
|
Imagerie en coupe verticale de circuits intégrés ou d'autres structures.
|
Légende:
+++ bonne performance / adapté
+ performance limitée / des possibilités existent
0 inadapté
|
