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    Différents types d'analyse : SIMS : Secondary ions mass spectrometry - TOF-SIMS : Time of flight SIMS - XPS : X-ray photoelectron spectrometry - RBS : Rutherford back scattering - ECVP : Electrochemical capacitance voltage profiling...

    Différents types d'analyse : SIMS: Secondary ions mass spectrometry - TOF-SIMS: Time of flight SIMS - XPS: X-ray photoelectron spectrometry - RBS: Rutherford back scattering - ECVP: Electrochemical capacitance voltage profiling...

Comparatif

Limite de détection Composition d'un alliage Information moléculaire Information de profondeur
SIMS dynamique +++ + 0 +++
XPS/ESCA + +++ + +
ToF-SIMS +++ 0 +++ +
RBS 0 + 0 +
ECVP +++ 0 0 +++
FIB-TEM Imagerie en coupe verticale de circuits intégrés ou d'autres structures.

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